????近日，中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)有限公司公布了2025年度科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)名單，國(guó)機(jī)金剛石1項(xiàng)成果榮獲一等獎(jiǎng)。
泛半導(dǎo)體先進(jìn)制程用
高性能陶瓷部件關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用
????聚焦OLED顯示、集成電路等泛半導(dǎo)體先進(jìn)制程對(duì)陶瓷部件高精度、高穩(wěn)定性的迫切需求，突破了從材料配方、精密制備到超精細(xì)加工的全鏈條關(guān)鍵技術(shù)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。項(xiàng)目研制的陶瓷吸盤、載盤及精密磨削工具系列產(chǎn)品，成功打破國(guó)外壟斷，實(shí)現(xiàn)了該類部件的國(guó)產(chǎn)化批量制造，構(gòu)建了自主可控的技術(shù)體系，有力支撐了我國(guó)泛半導(dǎo)體核心裝備的自主化與產(chǎn)業(yè)鏈安全。
????此次獲獎(jiǎng)的榮譽(yù)，是國(guó)機(jī)金剛石聚焦行業(yè)迫切需求，堅(jiān)持自主創(chuàng)新的生動(dòng)寫照，更筑牢了產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的自主可控和安全水平。下一步，國(guó)機(jī)金剛石將以此為契機(jī)，持續(xù)深耕前沿技術(shù)攻關(guān)，深化產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同創(chuàng)新，不斷完善自主技術(shù)體系，爭(zhēng)取在關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新突破，為服務(wù)國(guó)家重大戰(zhàn)略，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)注入強(qiáng)勁動(dòng)能。
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